全自動臺階儀 JS2000B 操作流程簡介

1. 環境檢查：確保設備放置在穩固、無強振動的工作臺上。避免溫度劇烈波動和氣流直吹，理想的環境溫度應相對恒定。

   
   

2. 設備開機與初始化：按照制造商手冊順序開啟主機、控制器和計算機電源。啟動測量軟件，系統通常會進行自檢和初始化，等待設備就緒。

   
   

3. 樣品準備：

   
   

• 清潔：使用適當的清潔方法（如吹氣球、無塵布、專用清潔劑）去除樣品表面的灰塵、顆粒、指紋等污染物。污染物會影響測量準確性，甚至可能損壞探針。

  
  

• 固定：將樣品平穩放置在樣品臺上。對于小樣品或不平整樣品，使用真空吸盤、專用夾具或黏土（需注意兼容性）將其牢固固定，確保測量過程中無移動。同時盡量使待測區域保持水平，以減少后續數據傾斜校正的幅度。

  
  

• 標識：如果測量多個點位，可事先在軟件中標記或記錄點位位置。

  
  

1. 探針選擇與檢查（如適用）：根據測量需求（如分辨率、樣品硬度）確認已安裝合適的探針（通常是金剛石探針）。在顯微鏡下或通過軟件圖像檢查探針針尖是否完好、無污染或損壞。損壞的探針需更換。

   
   

2. 設置測量參數：這是關鍵步驟，需在軟件中完成：

   
   

• 測量力：設置探針接觸樣品時的力。較小的力（如毫克級）適合測量軟材料（如光刻膠），減少劃傷；較大的力可用于較硬材料。需在保護樣品和保證良好接觸間取得平衡。

  
  

• 掃描速度：設置探針水平移動的速度。較慢的速度通常能獲得更高的分辨率和更平滑的曲線，但測量時間更長；較快的速度適用于快速篩查或長距離掃描。

  
  

• 掃描長度：設定水平掃描的起點和終點，確保覆蓋感興趣的整個特征（如整個臺階）。

  
  

• 采樣密度：設置數據采集的頻率。較高的采樣密度能捕捉更細致的輪廓變化，但數據量更大。

  
  

• 其他參數：如自動對焦范圍、接觸檢測靈敏度等，通常可使用默認設置或根據經驗調整。

  
  

1. 樣品觀察與點位定位：

   
   

• 通過軟件控制移動樣品臺，并利用設備集成的光學顯微鏡（如果有）或相機預覽圖像，將待測特征移動到視場中心。

  
  

• 如果測量多個點位，可在軟件中通過“教導"模式，依次移動到每個點位并保存其坐標，創建自動測量序列。

  
  

2. 執行自動測量：

   
   

• 確認參數和點位無誤后，啟動自動測量程序。

  
  

• 設備將自動執行以下流程：首先jin 行自動對焦（如果配備），使樣品表面清晰成像；接著可能進行自動找平，補償微小傾斜；然后探針自動緩慢下降，進行接觸檢測；接觸成功后，開始按設定的速度和長度進行水平掃描；掃描完成后，探針自動抬起并返回安全位置；如果設定了多點序列，樣品臺將自動移動到下一個點位重復此過程。

  
  

3. 監控測量過程：在測量過程中，注意觀察軟件界面上的力反饋信號或輪廓實時顯示，確保掃描平穩，無異常抖動或失步。

   
   

1. 數據查看：掃描完成后，軟件會顯示原始的輪廓曲線。

   
   

2. 數據處理：

   
   

• 傾斜校正：如果樣品放置有傾斜，輪廓基線可能不水平。使用軟件的“調平"或“傾斜校正"功能，選擇輪廓上兩個已知應處于同一水平線的點進行校正。

  
  

• 濾波：根據需要，應用數字濾波器（如高斯濾波器）來平滑高頻噪聲或分離不同頻率的成分（如粗糙度和波紋度）。

  
  

3. 參數分析：

   
   

• 臺階高度/膜厚測量：這是zui 常見的分析。在輪廓曲線上，用鼠標標示出臺階的起點和終點（通常是薄膜邊緣或結構邊界），軟件會自動計算兩點之間的垂直高度差。

  
  

• 粗糙度分析：在輪廓曲線上選擇一段評估區域，軟件可根據ISO 4287等標準計算線粗糙度參數，如算術平均偏差Ra、最da 高度Rz等。

  
  

• 其他幾何測量：可測量水平距離、角度、曲率半徑等。

  
  

4. 統計與報告：對于多點自動測量，軟件可自動計算每個點測量結果的統計值（如平均值、標準差、范圍）。用戶可以生成包含輪廓圖、數據表格和統計結果的綜合報告，并導出為PDF、Excel等格式。

   
   

1. 數據保存：保存原始數據和處理后的項目文件。

   
   

2. 設備歸位：測量結束后，將樣品臺移動至安全位置，確保探針處于抬起狀態。按照操作規程關閉軟件和硬件。

   
   

3. 清潔與檢查：取下樣品，清潔樣品臺。定期檢查探針狀態。

   
   

遵循上述流程，用戶可以系統性地完成從樣品準備到結果報告的測量任務。熟練操作后，可以進一步利用軟件的批處理、模板化分析等功能，提高重復性測量的效率。安全、規范的操作是延長設備壽命和保證數據質量的前提。

全自動臺階儀 JS2000B 操作流程簡介