ZYGO ZeGage Pro維護與保養要點

1. 環境管理：

   
   

• 穩定性：設備應始終放置在穩固、抗震的工作臺或光學平臺上。避免將其安置在靠近門、走廊、重型設備或其它明顯振源的位置。

  
  

• 清潔度：保持設備周圍環境清潔，減少灰塵。定期清潔設備外殼。

  
  

• 溫濕度：在設備規格允許的溫度和濕度范圍內運行（通常建議溫度穩定在20°C ± 2°C，相對濕度<60%）。避免溫度劇烈波動和陽光直射，防止光學部件結露。

  
  

2. 規范操作：

   
   

• 按照手冊順序開機（通常先硬件后軟件）和關機。關機前，建議將光源亮度調低。

  
  

• 取放樣品時動作輕柔，避免碰撞物鏡或樣品臺。確保樣品重量不超過載物臺承重限制。

  
  

3. 光學部件清潔（需格外謹慎）：

   
   

• 物鏡前透鏡、參考鏡窗口、樣品臺玻璃等光學表面極易受污染，應作為日常清潔重點。

  
  

• 清潔時，首先使用干凈、柔軟的專業吹氣球吹去浮塵。

  
  

• 如需進一步清潔，使用專用的顯微鏡鏡頭紙或棉簽，蘸取極少量高純度溶劑（如無水乙醇或專用鏡頭清潔劑），從中心向外以螺旋方式輕輕擦拭。切勿用力按壓或來回刮擦。

  
  

• 切勿用手指直接觸摸光學表面，避免使用普通紙巾、衣物或含研磨劑的清潔劑。

  
  

4. 樣品臺與機械部件：

   
   

• 保持樣品臺X、Y、Z導軌清潔，可用干凈軟布擦拭。避免灰塵或樣品碎屑積聚。

  
  

• 除非手冊明確說明，否則不要自行給運動部件添加潤滑油。

  
  

1. 性能驗證：定期（如每月或每季度）使用經認證的標準樣品對設備進行驗證，這是確保測量準確性的核心。

   
   

• 臺階高度標準片：用于驗證Z軸（垂直方向）測量的準確性和重復性。

  
  

• 橫向尺度標準片（如光柵）：用于驗證XY方向（橫向）的尺寸測量精度和分辨率。

  
  

• 粗糙度標準片：用于驗證表面粗糙度參數測量的重復性。

  
  

• 將驗證結果記錄在案，建立設備性能歷史檔案。

  
  

2. 光源狀態監測：注意觀察白光LED光源的亮度。隨著使用時間增長，亮度會自然衰減。如果發現測量時所需光源強度顯著增高或信噪比下降，可能需要聯系服務人員檢查光源狀態。

   
   

3. 系統狀態檢查：定期檢查設備有無異常聲音、運動是否順暢、連接線纜是否完好。如發現圖像持續模糊、干涉條紋異常、軟件頻繁報錯或測量重復性明顯變差，應暫停使用并聯系技術支持。

   
   

1. 軟件與配置備份：定期備份測量軟件的配置文件、用戶自定義的測量“配方"、校準數據以及重要的分析方法。

   
   

2. 數據管理：建立規范的測量數據存檔和備份制度，防止數據丟失。

   
   

• 預防性維護：建議按照制造商推薦的周期（通常每年一次）進行全面的預防性維護。內容包括：內部光學系統清潔與校準、機械部件檢查與調整、電子系統性能測試、軟件更新等。

  
  

• 定期校準：進行全面的系統校準，以確保所有測量軸線的精度符合出廠規格或相關標準。

  
  

• 故障診斷與維修：當設備發生硬件故障或出現無法排除的軟件問題時，應由專業工程師進行診斷和處理。

  
  

• 日常使用情況（操作人員、測量樣品類型等）。

  
  

• 清潔和維護的日期及內容。

  
  

• 性能驗證的日期、結果和操作人員。

  
  

• 任何異常現象、故障描述及處理過程。

  
  

• 所有專業維護、校準和維修的日期、內容及服務工程師信息。
  這份檔案不僅有助于跟蹤設備狀態，還能在出現問題時為快速診斷提供重要線索。

  
  

通過堅持執行上述日常維護、定期檢查和專業保養，用戶可以最大限度地維持ZYGO ZeGage Pro光學輪廓儀的性能穩定，確保其持續為表面計量工作提供可靠支持，并有效保護設備投資。

ZYGO ZeGage Pro維護與保養要點