• 傾斜校正（調平）：去除因樣品放置傾斜或基準面不平引入的整體傾斜。軟件提供平面擬合（如最小二乘法）或三點定面等方式，計算并減去參考平面。

  
  

• 形狀去除：如果樣品本身具有已知的曲率（如球面、柱面），可以擬合并去除該基礎形狀，從而更清晰地觀察局部粗糙度或缺陷。

  
  

• 濾波處理：應用數字濾波器分離表面不同空間頻率的成分或去除噪聲。

  
  

• 高斯濾波：遵循ISO 16610等標準，用于分離粗糙度、波紋度和形狀誤差成分。用戶可設置截止波長，選擇分析特定波長范圍內的表面特征。

  
  

• 中值濾波/去噪：有效去除圖像中孤立的異常噪聲點，平滑數據。

  
  

• 無效數據修補：對于因表面反射率過低、陰影或遮擋導致信號丟失的區域（數據空洞），可使用鄰近數據插值算法進行修補，獲得完整的形貌圖。

  
  

• 偽彩色高程圖：用不同顏色表示不同高度，是最直觀的顯示方式。

  
  

• 陰影渲染圖：模擬光源照射效果，增強三維立體感，突出紋理和細節。

  
  

• 等高線圖：顯示表面等高線，有助于判斷坡度變化和整體形狀。

  
  

• 任意剖面視圖：允許用戶在任何位置和方向“剖切"三維數據，觀察內部截面形貌。

  
  

• 輪廓線提取：在三維圖上任意繪制線段，軟件即可生成該路徑上的二維高度輪廓曲線。

  
  

• 輪廓參數測量：直接在輪廓曲線上測量水平距離、垂直高度（臺階高度）、角度、曲率半徑等幾何尺寸。

  
  

• 線粗糙度參數計算：按照ISO 4287等線粗糙度標準，計算輪廓算術平均偏差Ra、輪廓最大高度Rz、輪廓單元平均寬度RSm等參數。這對于需要與傳統接觸式輪廓儀數據進行對比的場合尤其有用。

  
  

• 高度參數：描述表面在垂直方向上的偏差統計特征。

  
  

• Sa：算術平均高度。zui 常用的三維粗糙度參數，是表面各點與平均面高度偏差絕對值的算術平均。

  
  

• Sq：均方根高度。

  
  

• Sz：表面最大高度（最高峰與最di 谷的差值）。

  
  

• Ssk：偏度。描述高度分布的不對稱性。

  
  

• Sku：峰度。描述高度分布的尖銳程度。

  
  

• 空間參數：描述表面紋理的橫向分布特性。

  
  

• Sal：自相關長度。描述表面紋理特征在空間上的平均長度。

  
  

• Str：紋理縱橫比。描述紋理的方向性（各向同性或各向異性）。

  
  

• 功能參數：模擬表面在特定功能應用中的行為。

  
  

• 表面支承面積率曲線：計算在不同深度截面上，材料面積與投影面積的比值。對于研究摩擦、磨損、密封和潤滑性能非常重要。

  
  

• Sk, Spk, Svk：核心粗糙度深度、峰值高度、谷值深度，將表面分為不同的功能區域進行分析。

  
  

• 點、線、面測量：直接測量任意兩點間的三維距離、空間角度、直線長度、平面面積和傾斜度。

  
  

• 體積與面積測量：計算特定區域相對于某一基準平面的材料體積（如凹坑容積、顆粒體積、磨損量）和真實表面積。

  
  

• 臺階高度/薄膜厚度測量：通過定義上、下兩個參考平面，自動計算其垂直距離，這是測量薄膜厚度或刻蝕深度的常用方法。

  
  

• 多區域/多特征統計：對同一表面的多個相同特征（如多個焊點、顆粒）進行測量，自動計算平均值、標準差、最大值、最小值等統計量。

  
  

• 數據分布分析：生成表面高度值的概率分布直方圖。

  
  

• 批處理與自動報告：用戶可以創建測量“配方"，對多個樣品或同一樣品的多個位置進行自動順序測量、分析和報告生成，大大提高重復性檢測的效率。

  
  

ZYGO ZeGage Pro數據分析功能詳述