1. 工作環(huán)境管理：

   
   

• 防振：設(shè)備應(yīng)放置在穩(wěn)固、無強振動的工作臺上。避免靠近沖壓機、離心機、頻繁開關(guān)的門等振動源。如果環(huán)境振動不可避免，應(yīng)考慮使用氣浮隔振臺。

  
  

• 潔凈：保持設(shè)備周圍環(huán)境清潔，減少灰塵。灰塵落入機械導(dǎo)軌或光學(xué)部件會影響運動精度和觀察。

  
  

• 溫濕度：在設(shè)備規(guī)定的溫濕度范圍內(nèi)運行（通常建議溫度穩(wěn)定在20°C ± 2°C，濕度<60%）。避免溫度劇烈變化和陽光直射，防止部件熱脹冷縮影響精度。

  
  

2. 規(guī)范的開機與關(guān)機：

   
   

• 按照操作手冊順序開機（通常先開主機、控制器，后開軟件）和關(guān)機。讓系統(tǒng)有必要的初始化時間。

  
  

• 關(guān)機前，確保探針已抬起并回到安全位置，樣品臺移至合適位置。

  
  

3. 樣品準備與操作規(guī)范：

   
   

• 清潔樣品：測量前務(wù)必清潔樣品表面，去除灰塵、顆粒、指紋。污染物會污染探針、劃傷樣品，并導(dǎo)致測量誤差。

  
  

• 小心放置與固定：輕拿輕放樣品，使用合適的夾具（如真空吸盤）固定牢固，防止測量中移動。避免樣品超重或尺寸超出樣品臺范圍。

  
  

• 探針操作：在移動樣品臺或手動操作時，務(wù)必確認探針已抬起，避免碰撞。自動測量過程中，監(jiān)控初始接觸階段，如有異常立即暫停。

  
  

1. 日常檢查：每次測量前后，通過軟件的視頻顯微鏡或目鏡（如有）觀察探針針尖。確認針尖完好、無污染物附著、無可見破損或磨損。

   
   

2. 清潔：如果發(fā)現(xiàn)針尖有輕微污染物（如灰塵、有機殘留），可使用專用的探針清潔工具（如非常柔軟的無塵棉簽）蘸取高純度溶劑（如電子級甲醇或丙酮），在顯微鏡監(jiān)視下極其輕柔地擦拭針尖側(cè)面。切勿用力軸向戳刺針尖。如果不確定，應(yīng)聯(lián)系專業(yè)人員。

   
   

3. 更換：當探針針尖明顯磨損（導(dǎo)致測量輪廓變寬、臺階底部圓滑）、破損或嚴重污染無法清潔時，需要更換探針。更換探針需嚴格按照操作規(guī)程進行，并可能需要進行針尖半徑校準或偏移量校準。

   
   

4. 校準：新安裝探針或長時間使用后，建議進行針尖半徑校準（如果軟件支持）和測量系統(tǒng)的偏移/線性校準，以確保測量準確性。

   
   

1. 導(dǎo)軌與軸承：保持X、Y、Z軸導(dǎo)軌清潔。可定期用干凈的無塵布輕輕擦拭裸露的導(dǎo)軌表面。按照制造商建議的周期，由專業(yè)人員檢查潤滑情況。

   
   

2. 樣品臺：定期清潔樣品臺表面，避免碎屑或污物影響樣品平整度或定位精度。

   
   

3. 定期檢查：注意聽設(shè)備運行有無異常噪音，觀察運動是否平滑順暢。如有異常，及時停機檢查。

   
   

1. 校準標準件：配備經(jīng)認證的臺階高度標準樣塊（具有已知、可追溯的臺階高度，如幾十納米到幾微米不等）。

   
   

2. 定期校準：按照操作手冊或質(zhì)量體系要求（如每月、每季度），使用標準樣塊對設(shè)備的垂直（Z軸）測量精度和重復(fù)性進行校準。測量標準臺階的高度，與標準值比較，計算誤差。如果誤差超出允許范圍，需根據(jù)軟件指引進行校準系數(shù)調(diào)整或聯(lián)系服務(wù)人員。

   
   

3. 水平（X軸）校準：使用經(jīng)認證的光柵尺或標準間距樣塊，對水平方向的位移精度進行校準。

   
   

4. 日常快速驗證：在日常測量前后，可以用一個穩(wěn)定的內(nèi)部參考樣品（如一個已知高度的舊樣品）進行快速測量，監(jiān)控設(shè)備的短期重復(fù)性。

   
   

1. 軟件備份：定期備份測量軟件的配置文件、用戶自定義的測量程序（Recipe）、校準數(shù)據(jù)等。

   
   

2. 系統(tǒng)更新：關(guān)注制造商發(fā)布的軟件更新或固件更新，這些更新可能包含功能改進或錯誤修復(fù)。在更新前做好備份。

   
   

3. 數(shù)據(jù)管理：定期歸檔和備份測量數(shù)據(jù)，建立規(guī)范的數(shù)據(jù)存儲和命名體系。

   
   

• 預(yù)防性維護：與供應(yīng)商簽訂預(yù)防性維護合同，由專業(yè)工程師定期（如每年）上門進行全面的檢查、清潔、調(diào)整和性能驗證。

  
  

• 故障維修：當設(shè)備出現(xiàn)無法自行解決的硬件或軟件故障時，應(yīng)及時聯(lián)系制造商或shou 權(quán)服務(wù)商，切勿自行拆卸精密部件。

  
  

• 日常使用情況（日期、操作者、主要測量樣品）。

  
  

• 探針檢查、清潔和更換記錄。

  
  

• 校準日期、標準件信息、校準結(jié)果和操作者。

  
  

• 任何異常情況、故障描述及處理過程。

  
  

• 預(yù)防性維護和維修的歷史記錄。

  
  

通過堅持執(zhí)行上述日常維護和定期校準規(guī)程，可以最da 程度地保持全自動臺階儀JS2000B的最jia 性能狀態(tài)，確保其測量數(shù)據(jù)的準確性和長期可靠性，為生產(chǎn)和科研工作提供穩(wěn)定支持。

全自動臺階儀 JS2000B 日常維護指南