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產品簡介
Sensofar白光干涉光學輪廓儀在半導體中應用在半導體制造領域，表面形貌的精確測量對產品質量控制至關重要。白光干涉光學輪廓儀作為一種非接觸式測量工具，能夠提供納米級精度的表面高度信息，適用于半導體晶片、薄膜、封裝結構等多種材料的平面度測量。
產品分類
Sensofar白光干涉光學輪廓儀在半導體中應用在半導體制造領域，表面形貌的精確測量對產品質量控制至關重要。白光干涉光學輪廓儀作為一種非接觸式測量工具，能夠提供納米級精度的表面高度信息，適用于半導體晶片、薄膜、封裝結構等多種材料的平面度測量。
半導體制造過程中，化學機械拋光（CMP）是一個關鍵工藝，其質量直接影響后續工序的效果。白光干涉光學輪廓儀可以用于檢測CMP處理后的表面平面度，評估碟形凹陷、腐蝕等缺陷的程度。通過快速、非接觸的測量方式，它能夠在生產線上實現在線檢測，及時發現問題并調整工藝參數。
Sensofar S neox 光學輪廓儀的白光干涉模式特別適合測量半導體材料的光滑表面。其亞納米級的縱向分辨率能夠捕捉微小的表面高度變化，提供準確的表面粗糙度數據。此外，儀器的大視野特性使其能夠快速測量較大面積的樣品，提高檢測效率。
在半導體封裝工藝中，白光干涉光學輪廓儀可用于測量鍵合界面厚度、TSV深孔側壁形貌等微觀結構。這些測量數據對于評估封裝質量和可靠性具有參考價值。儀器的非接觸式測量方式避免了對脆弱結構的損傷，保證了樣品的完整性。
與傳統測量方法如原子力顯微鏡（AFM）相比，白光干涉光學輪廓儀具有測量速度快的優勢。它能夠在短時間內完成大面積掃描，更適合工業環境中的高頻次檢測。同時，其納米級的測量精度也能滿足半導體行業對表面質量的高要求。
Sensofar S neox 光學輪廓儀還支持ISO 25178和ISO 4287等標準的粗糙度測量，能夠自動生成符合行業標準的檢測報告。這一功能簡化了質量控制的流程，減少了人為操作的主觀性。
總的來說，白光干涉光學輪廓儀為半導體行業提供了一種有效的表面形貌測量方案。其高精度、非接觸和快速測量的特點，使其能夠適應半導體制造對質量和效率的雙重需求，從研發到生產各個環節都能發揮其作用。Sensofar白光干涉光學輪廓儀在半導體中應用